超精密特種加工是指一些利用力、熱,聲、光、電、磁、原子、化學(xué)等能源的物理的、化學(xué)的非傳統(tǒng)加工方法實現(xiàn)的超精密加工零件。趙精密特種加工的范圍很廣,如電子束加工是指在真空中將陰極(電子槍)不斷發(fā)射出來的電子向正極加速,并聚焦成極細的、能量密度極高的束流,高速運動的電子撞擊到工件表面,動能轉(zhuǎn)化為勢能,使材料熔化、氣化并在真空中被抽走。
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